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課程介紹

FEMAG軟件是世界上第一款商業的材料晶體生長數值模擬軟件，致力于多物理場仿真分析晶體的生長工藝過程，為用戶提供晶體生長過程中的重要信息以及影響晶體質量的工藝信息，改善晶體質量與提高用戶的研發效率。目前，FEMAG軟件產品有：FEMAG/CZ、FEMAG/CZ/OX、FEMAG/FZ、FEMAG/DS、FEMAG/VB、FEMAG/HEM以及FEMAG/PVT，可有效分析提拉法生長、泡生法生長、區熔法生長、定向凝固法生長、垂直布里奇曼法生長、垂直梯度凝固法生長、熱交換法生長以及物理氣相傳輸法生長等工藝過程。

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FEMAG軟件主要功能：?
（1）在設計工程領域，利用FEMAG軟件可以設計生長熔爐系統中保溫套和反射體的形狀、材質和位置，可確定加熱器的位置，設計輔助加熱器，選擇與設計保溫層。?
（2）在質量控制工程領域，利用FEMAG軟件可以分析熱應力、控制氧/碳含量、摻雜物分布以及控制缺陷，優化工藝參數，改善晶體生長質量。?
（3）在成本控制工程領域，利用FEMAG軟件可以評估能耗、氣耗，也可以評估原料、輔料的成本與使用壽命。